bedrijfsnieuws over Behalve druk: flenzen in vacuümsystemen

Hoewel de primaire functie van de meestemetalen flenzenHet is de bedoeling dat de vloeistof onder positieve druk wordt opgenomen, maar ze spelen een even cruciale, maar vaak omgekeerde rol in devacuümsystemenIn deze toepassingen is de uitdaging niet om te voorkomen dat vloeistof ontsnapt, maar om te voorkomen dat ongewenste atmosferische gassen het systeem binnenkomen, waardoor een ultra-schone, lage drukomgeving wordt gewaarborgd.Dit vereist nog strengere normen voor het afdichten en het uitgassen van materiaal..

Vacuümsystemen zijn essentieel in een breed scala van industrieën:

• Vervaardiging van halfgeleiders:Het creëren van ultra-zuivere vacuümkamers voor het deponeren van dunne films en etsen van microchips, waar zelfs een enkele onzuiverheid een batch kan ruïneren.
• Ruimtesimulatie:Het testen van ruimteschipcomponenten onder omstandigheden die de ruimte weerspiegelen.
• Onderzoek en ontwikkeling:Deeltjesversnellers, elektronenmicroscopen en verschillende wetenschappelijke experimenten zijn afhankelijk van vacuümomgevingen.
• Beschermingstechnologieën:Processen zoals fysieke dampafzetting (PVD) voor harde coatings of optische coatings.
• Voedselverwerking:Vriesdrogen of vacuümverpakking.

Unieke uitdagingen voor flenzen in vacuümsystemen:

1. Leekdichtheid:

   • Hoewel druksystemen kleine lekken kunnen tolereren, vereisen vacuümsystemen een uitzonderlijk hoge mate van lekdichtheid.kan het vacuümniveau aanzienlijk verlagen en het proces verontreinigen.
   • Dit vereist een uiterst nauwkeurige bewerking van de flensvlakken en het gebruik van gespecialiseerde pakkingen die zijn ontworpen voor vacuümservice.

2. Afgassing:

   • Dit is de afgifte van opgesloten gassen uit materialen in de vacuümomgeving.Dit is een belangrijke bron van verontreiniging en kan het bereikbare vacuümniveau beperken.
   • Voor UHV-toepassingen moeten specifieke roestvrijstalen (bv. 304L, 316L,de voorkeur wordt gegeven aan vacuümgesmolten kwaliteiten).

3. Uitbakken:

   • Veel vacuümsystemen, met name UHV, ondergaan een "bak-out"-procedure waarbij het hele systeem onder vacuüm wordt verwarmd tot enkele honderden graden Celsius.het afvoeren van geadsorbeerde gassen van de binnenste oppervlakken, en helpt om lagere ultieme druk te bereiken.
   • Flenzen, pakkingen en bouten moeten deze baktemperaturen kunnen weerstaan zonder af te breken of te vervormen.

gespecialiseerde flenzen voor vacuümtoepassingen:

• met een vermogen van niet meer dan 50 W;Deze zijn de gouden standaard voor UHV-toepassingen.koperen pakkingHet afdichtingsmechanisme is gebaseerd op de plastic vervorming van de koperen pakking wanneer de meskanten worden samengeperst, waardoor een robuust, bakbaar en zeer lekdicht metaal-metal afdichtingsmechanisme ontstaat.CF-flenzen zijn meestal gemaakt van roestvrij staal.
• ISO-KF- en ISO-K-flangen:Deze worden veel gebruikt voor ruwe en hoge vacuüm toepassingen.elastomeer O-ringenHet is echter niet zo eenvoudig om een CF-flens te monteren en te demonteren, maar het is veel eenvoudiger om een CF-flens te monteren en te demonteren.Ze zijn over het algemeen niet te bakken tot hoge temperaturen en hebben een hogere uitgassing dan CF, waardoor het gebruik ervan in UHV wordt beperkt.
  • ISO-KF (klemflenzen voor klauwen):Kleine diameter, vaak gebruikt met klauwklemmen voor snelle montage.
  • ISO-K (geboottelde flenzen):Grotere diameter, meestal geboeid als standaard buisflensjes.
• Voor de vervaardiging van elektrische apparaten:Veel vacuümsystemen vereisen zeer gespecialiseerde of op maat ontworpen flenzen om unieke componenten te integreren, vaak met meerdere poorten of complexe geometrieën,De Commissie heeft de Commissie verzocht om een verslag uit te brengen over de resultaten van de onderzoeksprocedure..

Belangrijkste overwegingen voor vacuümflenzen:

• Materiële zuiverheid:Het gebruik van materialen met lage onzuiverheidsniveaus om uitgassing te minimaliseren.
• Oppervlakte afwerking:Hoogwaardige, gladde oppervlakteafwerkingen zijn cruciaal om het oppervlak voor gasadsorptie te minimaliseren en om een goede pakking te garanderen.
• Reinigingsprocedures:Vacuümcomponenten, met inbegrip van flenzen, ondergaan strenge reinigingsprocessen (bijv. ultrasone reiniging, elektropolishing) om verontreinigende stoffen die kunnen uitgassen te verwijderen.
• Blokken:Vacuüm-compatibele bouten en moeren met lage uitgassing eigenschappen en geschikte smeermiddelen (indien van toepassing) zijn essentieel.

Samengevat, terwijl het doel omgekeerd is (lucht buiten houden in plaats van vloeistof binnen), zijn de eisen aan metalen flenzen in vacuümsystemen misschien nog strenger dan bij druktoepassingen.Zij vertegenwoordigen een gespecialiseerd gebied van de techniek waar nauwkeurig ontwerp, zuiverheid van het materiaal en absolute lekdichtheid zijn van het grootste belang om de precieze atmosferische omstandigheden te bereiken en te behouden die vereist zijn voor geavanceerde technologieën en wetenschappelijke doorbraken.